泽塔zeta 三维光学轮廓仪

产品型号：zeta-20
更新时间：2024-04-10

简要描述：泽塔zeta 三维光学轮廓仪：的三维成像和测量，多功能光学测试模组，多样化的测试平台（手动、自动测试台）
Z*的3D成像及测试系统（为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的Z佳选择）
从深槽到金刚石钢线，Zeta-20强大的成像能力可对各种复杂表面进行测量。通常这些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而无法用其它设备测量。

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产品详情

型号：Zeta-20

产品：泽塔zeta 三维光学轮廓仪

品牌：Zeta泽塔

简介：zui*的3D成像及测试系统（为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的*选择）

特点

◆ 功能齐全，操作简易，用途广泛的Zeta-20

ZDotTM技术擅于对高粗糙度、低反射率的表面进行成像分析

  ·具有防反射涂层的太阳能电池片
  ·图形化/蚀刻的LED基板
  ·生物微机电、微机电系统和微流体槽
  ·透明的多表面样品成像

快速获取数据

·可配置快于10秒扫一幅三维图像的采集速度
·简明易学的软件操作界面

强大的三维分析功能

·台阶高度、粗糙度、面积、体积、角度及其它表面属性
·数据输出格式与常见的第三方分析软件可兼容

◆ 高度的灵活性

测量复杂的表面特征

从深槽到金刚石钢线，Zeta-20强大的成像能力可对各种复杂表面进行测量。通常这些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而无法用其它设备测量。

选项配置齐全

  在科研过程中所涉及的样品表面类型往往难以预测。因此，Zeta-20使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求。
  ·薄膜厚度光谱仪
  ·可测量纳米级粗糙度的QDIC/Nomarski选项
  ·iX5干涉物镜
  ·Z轴分辨率高达2nm的压电陶瓷载台
  ·倾斜载台和真空吸附卡具
  ·自动特征提取和测量软件
  ·自动表面面积测量、统计分析 ...以及其它众多选项！

◆ 特定行业的测量应用

太阳能电池片表面分析：

  ·自动测量栅线的高度、宽度和体积
  ·单晶硅和多晶硅表面面积和绒面分析
  ·氮化硅防反射层薄膜厚度测量
  ·多点、自动栅线测量
  ·156mm太阳能电池片真空吸附载台

LED 和图形化蓝宝石基板(PSS)分析

  ·自动测量PSS高度、尺寸和周期
  ·分析光阻和蚀刻后PSS特征
  ·自动定位和测量外延后Mesa的粗糙度
  ·适用于2"、4"和6"晶圆的真空载台

微流体和微机电的测量分析

  ·透明的多层表面轮廓测量
  ·深槽、深井以及其它高纵深比的特征点测量
  ·灵活的、可自定义的横截面及测量点的设置

简便、易用的测量方法

  ·自动载物台支持多点测量序列和三维图像拼接
  ·自动坡度和波度补偿
  ·自动将待测表面调成水平
  ·自动测量高度、尺寸、角度、面积和体积
  ·自动测量线粗糙度和面粗糙度

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